等(deng)離(li)子(zi)體(ti)刻(ke)蝕(shi)逐(zhu)漸(jian)成(cheng)為(wei)半(ban)導(dao)體(ti)製(zhi)造(zao)工(gong)藝(yi)廣(guang)泛(fan)應(ying)用(yong)的(di)技(ji)術(zhu)，為(wei)確(que)保(bao)刻(ke)蝕(shi)的(di)一(yi)致(zhi)性(xing)和(hu)準(zhun)確(que)性(xing)，需(xu)要(yao)使(shi)用(yong)聚(ju)焦(jiao)環(huan)控(kong)製(zhi)等(deng)離(li)子(zi)鞘(qiao)層(ceng)厚(hou)度(duo)，進(jin)而(er)優(you)化(hua)離(li)子(zi)轟(hong)擊(ji)方(fang)向(xiang)，提(ti)高(gao)刻(ke)蝕(shi)精(jing)度(duo)。碳(tan)化(hua)矽(gui)除(chu)了(liao)與(yu)矽(gui)具(ju)有(you)相(xiang)似(shi)的(di)電(dian)導(dao)率(shuai)以(yi)外(wai)，還(huan)具(ju)有(you)良(liang)好(hao)的(di)耐(nai)離(li)子(zi)刻(ke)蝕(shi)性(xing)能(neng)，相(xiang)對(dui)於(yu)導(dao)電(dian)矽(gui)，它(ta)更(geng)適(kuo)合(ge)用(yong)作(zuo)聚(ju)焦(jiao)環(huan)材(cai)料(liao)。

隨(sui)著(zhuo)環(huan)保(bao)政(zheng)策(ce)及(ji)貿(mao)易(yi)戰(zhan)，主(zhu)流(liu)氟(fu)化(hua)液(ye)將(qiang)退(tui)出(chu)生(sheng)產(chan)，3M在(zai)2022年(nian)12月(yue)20日(ri)宣(xuan)布(bu)決(jue)定(ding)退(tui)出(chu)PFAS製(zhi)造(zao)。 因(yin)此(ci)，國(guo)產(chan)電(dian)子(zi)氟(fu)化(hua)液(ye)國(guo)產(chan)化(hua)迫(po)在(zai)眉(mei)睫(jie)。公(gong)司(si)通(tong)過(guo)OEM共(gong)同(tong)合(ge)作(zuo)開(kai)發(fa)，推(tui)出(chu)最(zui)威(wei)ZW序(xu)列(lie)氟(fu)化(hua)液(ye)產(chan)品(pin)， 且(qie)已(yi)經(jing)量(liang)產(chan)出(chu)貨(huo)供(gong)給(ji)半(ban)導(dao)體(ti)及(ji)半(ban)導(dao)體(ti)顯(xian)示(shi)頭(tou)部(bu)客(ke)戶(hu)。

溫(wen)控(kong)裝(zhuang)置(zhi)（Chiller）、尾(yi)氣(qi)處(chu)理(li)設(she)備(bei)（Scrubber）被(bei)廣(guang)泛(fan)用(yong)於(yu)半(ban)導(dao)體(ti)，麵(mian)板(pan)，太(tai)陽(yang)能(neng)、電(dian)池(chi)行(hang)業(ye)。雲(yun)在(zai)上(shang)可(ke)提(ti)供(gong)多(duo)規(gui)格(ge)、多(duo)類(lei)型(xing)設(she)備(bei)銷(xiao)售(shou)和(hu)安(an)裝(zhuang)、維(wei)護(hu)； 工(gong)業(ye)機(ji)器(qi)人(ren)（Robot）在(zai)工(gong)業(ye)自(zi)動(dong)化(hua)程(cheng)度(duo)最(zui)高(gao)的(di)半(ban)導(dao)體(ti)工(gong)廠(han)被(bei)廣(guang)泛(fan)使(shi)用(yong)，雲(yun)在(zai)上(shang)可(ke)對(dui)應(ying)市(shi)場(chang)90%以(yi)上(shang)機(ji)器(qi)人(ren)維(wei)護(hu)維(wei)修(xiu)項(xiang)目(mu)。